非政府采购公告 甬江实验室采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机项目(重招)国际招标公告(2)公告次数:1发布日期:2023-12-26****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023年12月26日在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1. 招标条件项目概况:甬江实验室因发展需要,需采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机。资金到位或资金来源落实情况:项目所需资金已经落实。 项目已具备招标条件的说明:项目已具备招标条件。2. 招标内容:招标项目编号:0762-2341CBNB2021招标项目名称:甬江实验室采购氟化氢干式刻蚀机和二氟化氙干法刻蚀机项目(重招)项目实施地点:中国浙江招标产品列表(主要设备):序号货物名称数量简要技术规格备注1氟化氢干式刻蚀机1套系统主要由控制系统、真空系统、工艺腔室、工艺气体配送管路和控制系统、终点监控,电源控制系统等部件组成。/2二氟化氙干法刻蚀机1套系统主要由控制...
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