复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目的更正公告
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复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目的更正公告一、项目基本情况原公告的采购项目编号：QWQTJY2333（NBITC-202311677G）原公告的采购项目名称：复旦大学宁波研究院宽禁带半导体材料与功率器件研究所电子束蒸镀机等仪器设备采购项目首次公告日期：2023年11月23日二、更正信息更正事项：采购文件更正内容：序号更正项更正前内容更正后内容1第五章 招标内容与技术需求标项3：颗粒测试仪（晶圆表面）表B技术需求表3.6占地面积≤2.45m²★3.6占地面积≤2.45m²2★4设备性能要求4设备性能要求3★4.7检测结果：定义致命缺陷并生成良率分布图缺陷坐标显示与导出检测数据重分析Link功能：支持多个数据结果同一位置比对★4.7检测结果：定义致命缺陷并生成良率分布图缺陷坐标显示与导出检测数据重分析Link功能：支持多个数据结果同一位置比对支持Klarf文件格式4/新增：★4.14测量能力：可以准确测量100μm及以上的厚外延更正日期：2023年11月24日三、其他补充事宜招标文件以前所述与本《招标文件更正公告》内容不符处或相关内容有不一致...
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