感应耦合等离子体刻蚀设备国际招标澄清或变更公告(3)
项目详情
澄清或变更简要说明：现因采购人原因，本项目采购终止。特此说明！新时代XXXXX公司2024年05月08日新时代XXXXX公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-05-08在中国国际招标网发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:感应耦合等离子刻蚀设备（ICP刻蚀机）主要用于微电子、光电子、通讯、微机等领域的器件研发和制造中半导体薄膜的刻蚀，服务于****性能大规模光子集成芯片研究。资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:1396-24424GJ00303招标项目名称:感应耦合等离子体刻蚀设备项目实施地点:中国陕西省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 感应耦合等离子体刻蚀设备 1 感应耦合等离子刻蚀设备（ICP刻蚀机）主要用于微电子、光电子、通讯、微机等领域的器件研发和制造中半导体薄膜的刻蚀，服务于****性能大规模光子集成芯片研究。1、反应腔：内圆柱形的反应腔由整块铝锭制成，没有焊缝、保证低的真空漏率。2、感应耦合等离子体发生器（...
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