近日,清华大学通用等离子体去胶机、等离子清洗机(后道)、硅深刻蚀系统、硅深刻蚀系统(压电材料用)和激光玻璃加工设备采购项目进行公开招标,招标项目的潜在投标人应在北京市海淀区文慧园北路10XXXXX公司北师大办公楼509室获取招标文件,欢迎合格的供应商前来投标。 一、项目基本情况 项目编号:清设招第20230325号(0873-2301HW3L0518) 项目名称:清华大学通用等离子体去胶机采购项目 采购需求: 通用等离子体去胶机采购1套,预算金额:450万元,国产,该设备应用于去除光刻胶;湿法刻蚀前的晶圆清洁;刻蚀钝化层;键合、打线前的表面清洁和活化。 项目编号:清设招第20230328号(0873-2301HW3L0525) 项目名称:清华大学等离子清洗机(后道)采购项目 采购需求: 等离子清洗机(后道)采购1套,预算金额:200万元,允许进口,该设备应用于MEMS器件以及集成封装工艺。具体工艺应用如下: 1,MEMS器件金属Pad等离子清洗; 2, 集成封装工艺,焊盘、引线框架等离子清洗。 项目编号:清设招第20230345号(0873-2301HW3L05...
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