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预算3570万清华大学采购电感耦合等离子体增强化学气相沉积-清华大学

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　　近日，清华大学异质接触与互连溅射台、电感耦合等离子体增强化学气相沉积、等离子体增强化学气相沉积设备(PECVD 3和通用电子束蒸发台采购项目进行公开招标，招标项目的潜在投标人应在http://www.oitccas.com/获取招标文件，并于2024年01月16日 13点30分开标。　　一、项目基本情况　　项目编号：OITC-G240270063 /清设招第20230337号　　项目名称：清华大学异质接触与互连溅射台采购项目　　采购需求：　　异质接触与互连溅射台采购1套，预算金额：480万元，国产，项目拟购置设备为异质接触与互连溅射台，可实现多靶位共溅射，主要用于MEMS 三维异质异构集成与 MEMS执行器加工。　　项目编号：OITC-G240270064/清设招第20230352号　　项目名称：清华大学电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)采购项目　　采购需求：　　电感耦合等离子体增强化学气相沉积(ICP-CVD)采购1套，预算金额：640万元，允许进口。　　用途：本设备通过电感耦合(ICP)方式产生****密度等离子体，在半导体或有机材料衬底上沉积低温****致密低...

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