原子层沉积系统国际招标公告(2)
项目详情
****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-02-27在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:原子层沉积系统 贰套资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:0811-244DSITC0125招标项目名称:原子层沉积系统项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 原子层沉积系统 2套 8英寸原子层沉积系统1套：反应腔应采用单腔体设计，最大兼容样品尺寸≥8英寸；采用真空泵，抽速不低于14.6CFM；单源脉冲时间可精确控制到0.01s或更优；4英寸原子层沉积系统1套：反应腔应采用单腔体设计，最大兼容样品尺寸≥4英寸；配备臭氧发生器，臭氧生成能力不小于110ng/ml；采用真空泵，抽速不低于14.6CFM；单源脉冲时间可精确控制到0.01s或更优。预算金额：人民币300万元最****限价：人民币294万元合同履行期限：2024年9月30日前完成交付3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华...
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