项目概况 原子层沉积系统 招标项目的潜在投标人应在复旦大学采购与招标管理系统(网址为:https://czzx.fudan.edu.cn)获取招标文件,并于2024年02月19日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号:HW2023111002 项目名称:原子层沉积系统 预算金额:300.000000 万元(人民币) 最****限价(如有):294.000000 万元(人民币) 采购需求:1、招标条件项目概况:原子层沉积系统 贰套资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容:招标项目编号:0811-244DSITC0125招标项目名称:原子层沉积系统项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1原子层沉积系统2套8英寸原子层沉积系统1套:反应腔应采用单腔体设计,最大兼容样品尺寸≥8英寸;采用真空泵,抽速不低于14....
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