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上海交通大学电子束光刻系统国际公开招标公告

发布日期： 2023-12-04

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项目详情

项目概况上海交通大学电子束光刻系统招标项目的潜在投标人应在上海市虹口区四平路200号盛泰国际大厦606室获取招标文件，并于2023年12月26日 10点30分（北京时间）前递交投标文件。一、项目基本情况项目编号：0773-2341SHHW0112/校内编号：招设2023A00227 项目名称：上海交通大学电子束光刻系统预算金额：1000.000000 万元（人民币）最****限价（如有）：1000.000000 万元（人民币）采购需求：设备名称：电子束光刻系统数量：1套简要技术参数：*2.1.6 配备激光干涉工作台，XY方向运动行程不小于150 mm×150 mm。激光干涉仪测量分辨率不大于1nm。*2.1.6 LIS is included in the system. XY: no less than 150 mm×150 mm. Laser interferometer...

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