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复旦大学高均匀性分子层沉积设备采购国际招标公告(1)

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****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2023-11-22在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:复旦大学拟采购****均匀性分子层沉积设备采购资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金来源已落实项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件2、招标内容招标项目编号:1639-234122240497招标项目名称:复旦大学****均匀性分子层沉积设备采购项目实施地点:中国上海市招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1 ****均匀性分子层沉积设备 1 第一套****均匀性分子层沉积设备，主要用于沉积High-K薄膜材料：Al2O3、HfO2等，沉积工艺的反应腔体最****加热温度≥350℃；第二套****均匀性分子层沉积设备，主要用于沉积导电薄膜材料：TiN等，沉积工艺的反应腔体最****加热温度≥500℃。反应腔的温度控制精度≤±2℃。3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:1)来自中华人民共和国或是与中华人民共和国有正常贸易往来的国家或地区(以下简称“合格来源国/地区”)的法人或其...

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