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深圳技术大学电子束蒸发镀膜机意向公开

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深圳技术大学电子束蒸发镀膜机意向公开采购单位:深圳技术大学项目名称:电子束蒸发镀膜机预算金额（元）:1,****0,000.000采购品目:其他仪器仪表采购需求概况:拟采购电子束蒸发镀膜机一套，配置包括：1.旋转工件台，能满足8英寸及向下兼容及碎片基板的蒸镀需求。2.极限真空:≤3E-5pa；压力上升：≤5E-6pa.m3/sec；腔体抽速：开腔后抽到3E-4pa≤20min。3.厚度均匀性（8英寸）：≤±5%。4.初级真空泵采用干泵，抽速≥1500L/min；主泵采用冷泵，抽速≥5000L/sec（氮气）；主泵和初级泵之间有真空计；主腔室配有真空计。5.坩埚的数目≥6个，单个坩埚的容量≥40cc，坩埚可自动切换定位功能，坩埚配有冷却系统。6.腔体采用304不锈钢材质，腔体内加热最大加热温度≥350℃，控温精度：±0.1℃；不锈钢衬版≥2套。7.电子枪电源额定功率≥10kW，灯丝寿命≥40小时（turn on）；热阻电源额定功率≥6kW。8.电子束扫描频率及范围（前后左右）都可调，当电子束位置严重偏离坩埚位置，能自动切断EB-GUN电源。9.具备薄膜实时测量监控功能，误差＜5%，一用一...

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