深圳国际量子研究院高真空磁控溅射镀膜仪项目意向公开
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深圳国际量子研究院****真空磁控溅射镀膜仪项目意向公开 采购单位: 深圳国际量子研究院 项目名称: ****真空磁控溅射镀膜仪项目 预算金额（元）: 3,800,000.000 采购品目: 其他机械设备 采购需求概况: 拟采购的****真空磁控溅射镀膜仪是专用于制备金属、非金属薄膜材料的镀膜设备。该设备可以提供大尺寸（8寸）、****稳定性、****质量的复杂薄膜的生长该设备采用五套靶枪，靶间距可调，再配有两套****低搭配的直流电源，一套射频电源，三路MFC控制进气等，可以满足****精度、****质量的特殊功能薄膜材料的生长。该****真空磁控溅射镀膜仪不仅可以使用DC或RF电源生长普通的薄膜材料，还能够通过DC与RF电源或者DC与DC电源的结合实现复杂物质的共溅射生长。同时，配备的800℃加热样品盘能够生长部分****难度的****要求的氮化物薄膜，而500V偏压又可以加快薄膜的沉积速率，...
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