深圳国际量子研究院超高真空电子束蒸发镀膜仪采购项目意向公开
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深圳国际量子研究院超****真空电子束蒸发镀膜仪采购项目意向公开 采购单位: 深圳国际量子研究院 项目名称: 超****真空电子束蒸发镀膜仪采购项目 预算金额（元）: 5,300,000.000 采购品目: 其他机械设备 采购需求概况: 本次拟采购的Explorer-22超****真空电子束蒸发镀膜XXXXX公司研发的先进薄膜沉积设备，专用于制备金属、非金属薄膜材料，尤其是具有特殊功能的材料。该型号设备适用于生长8英寸衬底上的薄膜，45英寸加****腔体对于****熔点贵金属Au、Pt、Pd等实现小线宽、大面积的剥离非常有利。 XXXXX公司的6个25CC坩埚源进行填料蒸镀，蒸镀最大功率为10 KW，采用双晶振控制膜厚，可实现不同材料的电子束蒸镀，同时双晶振保证了长时间****质量的薄膜生长。该设备配备的EDWARDS的CT-10冷泵与全铜密封保证了机器可以达到1e-9 Torr的极限真...
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