****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标,于2023-04-17在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式,现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:磁控溅射物理气相沉积机(Metal) 6台资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:XXXXX006/63招标项目名称:磁控溅射物理气相沉积机(Metal)项目实施地点:中国福建省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 磁控溅射物理气相沉积机(Metal) 6台 (1)本系统是物理气相沉积系统,可以进行基板Al/Mo及Mo合金/Cu材料薄膜沉积,可在短时间(节拍时间)内沉积一定厚度的薄膜。(2)运行环境:招标人FAB,温度23±2℃,湿度55±5%RH,洁净度ISO 5(3)基板尺寸:2250mm(宽)*2600mm(长)XXXXX006/633、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:(1)制造商应具有制造同类设备的经验,有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠,2015...
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