等离子增强型化学气相沉积设备国际招标公告(1)
项目详情
****受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2024-03-26在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。1、招标条件项目概况:等离子增强型化学气相沉积设备 6台资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、招标内容招标项目编号:XXXXX007/18招标项目名称:等离子增强型化学气相沉积设备项目实施地点:中国福建省招标产品列表(主要设备):序号 产品名称 数量 简要技术规格备注1 等离子增强型化学气相沉积设备 6台 （1）在有机发光二极管显示器工业中，PECVD（等离子增强型化学气相沉积）工艺用于形成表面隔离层（BL）、覆盖层、非晶硅层（3Layer）、栅绝缘层（GI）、金属层间绝缘层（IMD）、层间绝缘层（ILD）和钝化层薄膜（PV）；（2）基板尺寸：1500mm （W） × 1850 mm（L）；基板厚度：0.3~0.8mm；（3）设备可用于生产表面隔离层，覆盖层，非晶硅层薄膜，栅绝缘层，金属层间绝缘层，层间绝缘层和钝化层薄膜。XXXXX007-183、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1...
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