清华大学FIB-SEM双束电镜购置项目公开招标公告
项目详情
项目概况 清华大学FIB-SEM双束电镜购置项目 招标项目的潜在投标人应在北京明德XXXXX公司官网（http://www.zbbmcc.com）获取招标文件，并于2024年01月17日 10点00分（北京时间）前递交投标文件。 一、项目基本情况 项目编号：BMCC-ZC23-0961/清设招第20230347号 项目名称：清华大学FIB-SEM双束电镜购置项目 预算金额：1700.000000 万元（人民币） 最****限价（如有）：1700.000000 万元（人民币） 采购需求：主要用于MEMS器件微系统的精密修调工作：支撑完成MEMS器件修调；支撑实现MEMS+模拟集成电路圆片级在线修调能力；用于离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积、电路修补、电子束曝光；****分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测；金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构；****质量定点 TEM 样品制备；化学和晶体结...
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