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中国科学院大学-物理科学学院-物理气相沉积磁控溅射等采购项目竞争性磋商

发布日期： 2023-11-16

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项目详情

项目概况中国科学院大学-物理科学学院-物理气相沉积磁控溅射等采购项目采购项目的潜在供应商应在http://www.oitccas.com/获取采购文件，并于2023年11月27日 13点30分（北京时间）前提交响应文件。一、项目基本情况项目编号：UCAS-ZBB-2023013（OITC-G230DY0155）项目名称：中国科学院大学-物理科学学院-物理气相沉积磁控溅射等采购项目采购方式：竞争性磋商预算金额：82.000000 万元（人民币）最****限价（如有）：80.500000 万元（人民币）采购需求：包号品目货物名称数量是否接受进口是否为核心产品简要技术要求用途01包1-1物理气相沉积磁控溅射1台是是采用前级泵+分子泵的真空泵抽系统，磁吸式靶枪可在低于1mTorr气压下起辉；进气流量计，PID控制，精度可达±1%，重复性可达±0.3%；系统的本底真空优于5x...

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