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安徽华鑫微纳集成电路有限公司8英寸MEMS晶圆生产线之颗粒度检测仪-项目公告

发布日期: 2024-04-30

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项目详情

1.招标条件本招标项目8英寸MEMS晶圆生产线之颗粒度检测仪(项目名称)招标人为 安徽华鑫微纳XXXXX公司 ,招标项目资金来自 招标人自筹 (资金来源),出资比例为100%。该项目已具备招标条件,现对颗粒度检测仪进行公开招标。2.项目概况与招标范围项目编号:0664-2440SUMEC6631D/02 设备名称:颗粒度检测仪设备数量:5台设备用途:本设备主要用于器件加工中测试裸硅、二氧化硅、氮化硅等薄膜表面颗粒分布情况。招标产品列表(主要设备):序号产品名称数量简要技术规格备注1颗粒度检测仪5台晶圆尺寸:8英寸晶圆厚度:300μm~900μm检测重复性:≤1%(1σ)其他参数详见第五章★3.投标人资格要求3.1本次招标要求投标人为独立法人单位,并具有与本招标项目相应的供货能力。(复印件加盖公章);3.2投标人如为代理商,则必须提供该设备制造商出具的授权函原件,或制造商授权的区域代理商的授权函原件;不能提供原件的(如年度授权)提供复印件,原件备查;3.3投标人银行资信状况良好,提供基本户银行出具的在开标日前3个月内的有效的银行资信证明原件;3.4投标人需要具有履行合同所必需的设备技术支...

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